ÀÛ¾÷ÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç 2°³ÀÇ Port·Î ¾ç ¹æÇâ ÀÛ¾÷ÀÌ
°¡´ÉÇϵµ·Ï ¼³°èÇß´Ù. ¶ÇÇÑ ÀÚüÀûÀ¸·Î Thermal
Gauge¿Í Thermal Controller¸¦ ºÎÂøÇÏ¿© ÀÛ¾÷Áß
À¯¸®°üÀÇ ¿Âµµ¸¦ CheckÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô²û µÇ¾îÀÖ´Ù.
Gauge´Â Áø°ø ´ë¿ª 1 x 10 -4 Torr ±îÁö CheckÇÒ
¼ö ÀÖ´Â Digital Gauge¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© Áø°ø ¾Ð·ÂÀ»
½±°Ô ¾Ë ¼ö ÀÖ´Ù.