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1차 가공(Coating 및 Banding, 전극 작업)이 끝난 Tube(Lamp)를 Pumping
System을 이용해 작업 준비를 한다. |
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Tube(Lamp)를 Pumping System에 물려 놓고 1차 Pumping을 한다.(저진공
Pumping) |
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(고압 Tran.를 이용하여 고압 방전을 통해 Tube 내부에 있는 불순물들을 제거하는 작업)
* Bombarding 시 높은 온도까지 가열이 되므로 Tube의 온도 상승을 Digital Thermal Gauge를
이용하여 Check해야한다. |
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Tube 내부의 잔류 Gas를 고진공을 이용하여 완전 소멸 |
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Tube 내부에 Ar혼합 Gas를 주입 |
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Tube앞의 배기 통로를 Torch를 이용하여 Sealing한다. |
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