Á¦Ç°»ó¼¼Á¤º¸
¢Æ »óÇ°¼³¸í
¾ç ¹æÇâ µ¿½Ã¿¡ ÀÛ¾÷À» ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â SystemÀ̸ç, Gas Line ¿ª½Ã High Vacuum¿ë LineÀ¸·Î ±¸¼º
2°³ÀÇ Digital GaugeÀÇ »ç¿ëÀ¸·Î ÀÛ¾÷ÀÚ°¡ ÇöÀç ÀÛ¾÷µÇ´Â Áø°øµµ¸¦ ÇÑ´«¿¡ ÃøÁ¤ ÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô Á¦ÀÛ.
Àüü Áø°øµµ 1.0*10-6 Torr ÀÌÇϱîÁö ÀÛ¾÷ ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
|