안녕하십니까.
MKS Korea Agent 아이엔에스엘티디 이용성입니다.


귀사의 무궁한 발전을 진심으로 기원합니다.
폐사는 진공, 반도체, 코팅, 광학, 필름, 솔라, LED 및 디스플레이등 각 분야의 전반에 걸쳐
핵심 파트로 사용되고 있는 MKS Instruments 社 의 제품을 판매하고 있는
국내 공식대리점 아이엔에스엘티디 입니다.


세계 최고의 기술력을 자부하는만큼 이미 전 세계 관련 분야에서 성능으로 입증 받았으며,
입증된 성능을 기반으로한 정확성과 안정성 높은 공정 진행으로 생산성이 증가하며,
고객사의 만족도 또한 날로 증가하고 있습니다.


현재 국내 유수의 반도체 장비 및 진공 장비 주요 부품으로 사용되는,
Baratron Sensor 와 MFC 를 판매중에 있으며,
최근 FT-IR 과 같은 가스 분석 장비에도 관심을 갖고 많은 문의를 하고 계십니다.
아래의 홈페이지 주소로 오시면 각 제품의 카탈로그를 확인하실 수 있습니다.


◉ 압력측정 및 제어
▪ Baratron
- Capacitance Manometer 의 MKS 브렌드로, 정확도가 매우 높으며,
가스의 종류에 무관하게 압력을 측정할 수 있습니다.
부식에도 강한 Inconel 재질로 만들어져 Etching, Ashing 등의 공정에서도
매우 신뢰성 높은 압력 값을 측정할 수 있습니다.


▪ APC (Auto Pressure Controller)
- 공정 중 챔버내 압력을 원하시는 정도로 제어하기 위한 controller 입니다.
Baratron 으로 현재 압력을 측정하고, 원하시는 압력으로 Setting 하시면,
Throtle Valve 를 움직여 압력을 조절하며,
이러한 과정을 짧은 순간동안 여러번 반복해 원하시는 압력으로 유지할 수 있습니다.


▪ Throttle Valve
- APC 에 Setting 된 압력값을 맞추기 위해 끊임 없이 신호를 받아
Flapper 를 움직이는 Valve입니다.


◉ 유량 제어
▪ MFC (Mass Flow Controller)
- 공정중 사용되는 가스를 정확한 유량으로 흘리실 수 있는 제품으로,
각 유량별 Body 를 구분하여 높은 수준의 정확도를 자랑하는 제품입니다.
TYPE 1179A Analog MFC 공급가 \ 900,000
(10 sccm, 20,000 sccm Body 사용 시,
Gas 에 따른 Kalrez seal 사용 시, Option 금액 \ 100,000 발생)


▪ MFC Power Supply and Readout
- MFC 에 전원을 공급하고, Setpoint 를 제공해 원하시는 유량을 흘리 실 수 있으며,
MFC 에서 보내오는 Output 을 Display 할 수 있는 제품입니다.
1 Channel, 4 Channel, 8 Channel 제품이 있습니다.


◉ Vacuum Valve
▪ Angle / Inline Vavles
- 각각의 Flange Style 과, 크기가 다양한 제품의 라인업이 구성되어있으며,
Manual, Pneumatic 방식의 제품과, Two Stage Valve, 그리고 Heater 가 포함된
벨브 등 그 종류와 사용방식의 다양함에 맞는 제품들로 구성되어있습니다.


◉ Pirani & Cold Cathode
▪ Pirani Sensor
- 1,000 Torr ~ 10E-3 Torr 의 압력범위를 측정할 수 있는 센서로
공정중의 압력대역을 실시간으로 확인하실 수 있습니다.
저렴한 금액과 간단한 사용방법으로 널리 사용되고 있는 제품입니다.


▪ Cold Cathode
- 10E-2 Torr ~ 10E-10 Torr 의 고진공 대역의 압력 측정이 가능한 센서로,
일반적인 센서로 확인하실 수 없는 고진공 대역의 압력을 측정하실 수 있습니다.


본 메일을 확인하신 후 말씀을 주시면 최대한 빠르고 정확한,
그리고 최대한 낮은 금액으로 답변을 보내드릴 수 있도록 하겠습니다.


아래의 홈페이지에서 MKS 전 제품을 확인하실 수 있으며,
카탈로그를 확인하실 수 있습니다.
http://www.insltd.co.kr


끝까지 읽어 주셔서 감사합니다.
수고하십시오.