2WAY / 4 PORT ¹æ½ÄÀ¸·Î Çѹø¿¡ 4°³ÀÇ Tube¸¦ ÀÛ¾÷ÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç 2°³ÀÇ Port·Î ¾ç ¹æÇâ
ÀÛ¾÷ÀÌ °¡´ÉÇϵµ·Ï ¼³°èÇß´Ù. ¶ÇÇÑ ÀÚüÀûÀ¸·Î Thermal Gauge¿Í Thermal Controller¸¦
ºÎÂøÇÏ¿© ÀÛ¾÷Áß À¯¸®°üÀÇ ¿Âµµ¸¦ CheckÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô²û µÇ¾îÀÖ´Ù.
Gauge´Â Áø°ø ´ë¿ª 1 x 10 -4
Torr ±îÁö CheckÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Digital Gauge¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© Áø°ø ¾Ð·ÂÀ» ½±°Ô ¾Ë
¼ö ÀÖ´Ù.
|