»ý»êºÎ :
Chamber, Flange,Valve, Flame, µîµî ±âŸ ºÎÇ°À» °¡°øÇÏ´Â ºÎ¼
Á¶¸³½Ç :
ÀåºñÀÇ °¢ ºÎÇ°µéÀ» Á¶¸³ÇÏ´Â °÷À¸·Î ¿ÏÀüÇÑ Àåºñ·Î SettingÇÏ´Â °÷ÀÌ´Ù.
Ç×»ó û°áÇÏ°í ±ò²ûÇÏ°Ô °øÁ¤À» ÁøÇØÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÁغñµÇ¿© ÀÖ´Ù.
Detector :
Chamber/ Pumping LingÀÇ Leak ¿©ºÎ¸¦ TestÇØÁÖ´Â ÀåºñÀÌ´Ù.
Áø°øÀåºñÀÇ »ý¸íÀÎ ½Ç¸µÀÌ Àߵǿ© ÀÖ´ÂÁö °Ë»çÇÏ´Â Àåºñ·Î Áß¿äÇÑ °øÁ¤ ÀÇ ÀϺθ¦ Â÷ÁöÇÏ°í ÀÖ´Ù.