진공 증착기 구매납품 및 마케팅 제안의 건 입니다.

귀사와 우호적이고 신뢰받는 파트너가 지속되기를 기원하오며 OEM의 딜러 업무를 제안하오니

대표자 또는 위임자 및 영업을 총괄하시는 전임자 님은 업무에 참조요망 합니다.

품 명 : 진공 증착기 수 량 : 1대 일 시 : 2005/08/19 납 기 : 계약체결후 90일

가 격 : 6천만원 이하 건 명 : 펄스레이져증착장비 구매

시방 및 도면은 하단참조 및 요청시 전송

아래에 대한 조건으로 거래가 가능하시면 견적서를 팩스또는 전자문서로 전송요망 드립니다.

당사는 공공부서 및 정부투자기관의 물납유통 업체로서 귀사의 제조 및 취급 제품을 계약
OEM 방식으로 거래하고자 하오니 계약이행 증권과 선급금증권을 첨부하는 조건으로 전체 총합계금의
견적서와 사업자 등록증을 팩스로 전송 요망 드리며 귀사와의 마케팅등 협력관계를 제안 드립니다.

결재는 채권의 양도 양수 또는 수요기관의 검수후에 완불되며 선급금의 경우 선급금 증권 및
입보서류 첨부후 법인카드 및 은행도 어음으로 지급이 가능합니다.

추가적인 정보를 요청하시려면 사업자 등록증 사본에 전화 및 팩스와 이메일 휴대폰 번호
기재후 팩스로 전송 요망 드립니다.

주) 삼정물산교역 정이사 010-2268-0916 019-662-8617

FAX/tel 061-743-5372 e-mail - jmh123@kornet.net jsm7445373@kornet.net


경쟁력이 신뢰되는 견적서[일괄총액(부가세 및 운송비 등 전체합계금)] 와 사업자 등록증을 팩스로
세부내역서는 전자우편을 이용바랍니다.

구체적인 정보는 가계약의 계약체결 이후에 조율이 됨을 양지해 주시기 바랍니다.

선별 전송이었지만 혹시라도 귀사와는 상관없는 제안이라면 정중하게 사과드리며 전화는 사양합니다.

유사한 제품이라면 귀사의 소개서를 메일로 주시면 추후 참고정보로 활용하겠습니다.

이문서는 귀사 홈페이지의 게시판과 아웃룩에 게재했으며 p/w는 11111입니다.

진행순

- 콜 상담은 한국어이며 표준어 또는 경어입니다.

- 귀사의 견적서(경쟁력이 보장되는 합리적인 금액)와 사업자 등록증을 팩스나 전자우편 송부

- 검토후에 계약서의 초안을 전송해 드립니다.

- 계약서 검토후 서울보증보험사의 이행증권과 날인된 계약서를 송부
[증권은 계약불이행 및 검수에 합격하지 못할경우 위약금 변제용]

- 사업자증 및 명함 전송으로 당사정보 제공하며 상담은 경제적인 전자우편을 권장합니다.


1. 장비의 구성
1. CHAMBER MODULE
2. VACUUM PUMPING MODULE
3. SUBSTRATE HOLDER MODULE
4. TARGET CAROUSEL MODULE
5. GAS DELIVERY SYSTEM
6. GAS SAFETY CABINET MODULE
7. LASER 구동용 GAS UNIT
8. LASER BEAM CONTROL UNIT
9. SYSTEM CONTROL MODULE
10. SYSTEM FRAME UNIT
(SYSTEM FRAME, LASER SYSTEM FRAME, OPTICAL TABLE)

2. 각 부품별 세부
2-1 CHAMBER MODULE
1. Chamber material : SUS 304
2. Main chamber Size : 파이400x350H --------------------------- 2ea
3. Pumping port등
- Cf 8 Pumping　Port -------------------------------------------------- 8ea
- Cf 6 Pumping　Port -------------------------------------------------- 4ea
- Cf 4.5 Pumping　Port -------------- ----------------------------------- 8ea
- Cf 2.75 Pumping　Port ------------------------------------------------- 10ea
- Cf 1.33 Pumping　Port -------------------------------------------------- 4ea
4. Shutter ---------------------------------------------------- 4ea
5. Chamber vent valve (1/4“　vcr valve) -------------------------------- 2ea
6. Cf8　quick door ---------------------------------------------------- 2ea
7. Cf8　gate valve (pneumatic) -------------------------------------- 2ea
8. View port Cf6　 (제작사:ISI) -------------------------------------- 2ea
9. View port Cf4.5　(제작사:ISI) -------------------------------------- 2ea
10. View port Cf4.5　(Excimer ultraviolet-제작사:ISI) ------------------ 2ea

*모든 Flange는 규격품사용 할 것
- Chamber는 Electrical polishing처리하고 정제된 용제로 세척한다
- Chamber의 Leak rate는 모든 부품을 장착한 상태에서 2x10-9torr 이하의
Leak Rate를 보증한다
- Ultimate pressure는2x10-7torr pumping 시작 후 40분 이내


2-2 VACUUM PUMPING MODULE
1. TMP 500L/S 1ea (제작사:파이퍼베큠) ----------------------------- 2ea
2. Rotary pump 550L/M (제작사:파이퍼베큠) ----------------------------- 2ea
3. Vacuum gauge (제작사:파이퍼베큠)
- Cold cathode (Cf2.75　Port)-IKR251 ----------------------------- 2ea
- Pirani (Nw16 Port)-TPR265 ------------------------------------------- 2ea
- Gauge controller-TPG256 (제작사:파이퍼베큠)
- Baratron pressure gauge sensor (Type:626A01TDE, 제작사:MKS) --------- 2ea
- Auto pressure controller(Type:651CD2S1N, 0.5Amp/RS-232, 제작사:MKS) - 2ea
- Throttle valve (Type:653B-6-8CF-2, 제작사:MKS) ---------------------- 2ea
- Cable (Type:CB259-5-10, 제작사:MKS) --------------------------------- 2ea
- Cable (Type:CB652-1-10, 제작사:MKS) --------------------------------- 2ea
4. Angle valve Nw25 ------------------------------------------ 2ea
5. Vacuum hose Nw25x1m ------------------------------------------ 2ea
6. Vacuum hose Nw25x50L ------------------------------------------ 2ea

2-3 SUBSTRATE HOLDER MODULE
1. Heater 2"　 Max 950℃(Temperature uniformity ±2℃) ----------- 2ea
2. Heater Power Supply 2kw ----------------------------------------- 2ea
3. T.C power feedthrough (5kv 150a, K type, 제작사:MDC) ------------ 2ea
4. Programmable temperature control
5. XY sweeping unit
- XY±15mm. Z 4　- Motor controller
- XY sweeping program, PC 제어

* XY sweeping unit는X축,Y축이 동시에 움직일 것

2-4 TARGET CAROUSEL MODULE
1. Target holder 1　(4ch) --------------------------------------------- 2ea
2. Target position controller motor 구동 ------------------------------ 2ea
3. Carousel rotation controller (0-20rpm) ------------------------------ 2ea

* 회전부의 모든 Bearing은 고온에서 사용이 검정 된 부품을 사용할 것 (Ceramic Bearing등)

2-5 GAS DELIVERY SYSTEM
1. MFC : O2, Ar, N2 / 0-100 sccm (제작사 : Bronkhorst) - 6ea
2. Read out box (4ch) ----------------------------- ---- 2ea

2-6 GAS SAFETY CABINET MODULE
- Size : 900x500x1800 (WXDXH, mm) -------------------- 1ea
600x500x1800 (WXDXH, mm) --------------------------------- 1ea

1. Gas safety cabinet
- Frame & Door : 2t cold rolled steel
- Gaskets : Neoprene with oil resistant
- Window : 6mm Wire reinforced safety glass
- Paint : 2part polyurethane :interior and exterior-light gray
- Cabinet floor : Stainless steel
- Doors : Double doors with automatic door
Closure& Standard inlet air filter
- Square auto caster base
2. Panel mount Cylinder pressure regulator
- Body : Stainless steel 316L
- Diaphragm : Stainless steel
- Inlet pressure max : 6000psig
- Outlet pressure adjustable range : 15-0-100psig
- Model : HP500 (4port 1/4　VCRF)
3. Diaphragm Packless Valve (Multi turn)
- In/outlet con, type : 1/4　VCRM
- Body materials : SS316L
4. CGA580 Connector (SS316)
5. Long grand-M (SS316, 1/4　VCR)
6. Long grand-F (SS316, 1/4　VCR)
7. Male Nut (SS316, 1/4　VCR)
8. Female Nut (SS316, 1/4　VCR)
9. Micron filter (0.08 m. SS316, 1/4　VCRM)
10. Gasket외 잡자재
11. 조립, 용접

2-7 LASER BEAM CONTROLLER UNIT
1. 248-FR45-2d-MB, Hi power excimer laser mirror (2 dia) --------------- 3ea
2. 100-02-500, UV laser grade spherical lens (2 dia, Plano, convex) - 2ea
3. X-stage 60x60x(st±12.5) -------------------------------------- 1ea
4. XY-stage 80x80x(st±12.5) -------------------------------------- 1ea
5. XYZ-stage 60x60x(st±6.5mm) -------------------------------------- 1ea
6. Dovetail XYZ-stage 60x60x(st±30mm) ------------------------------ 1ea
7. Long-drive stage 100x100 (travel range 200mm) ---------------------1ea
8. Mirror mounts 외 7종 -------------------------------------------- 15ea

* LASER BEAM 회절에 충분한 수량이 되도록 할 것.

2-8 SYSTEM CONTROL MODULE )
1. 19"　 Standard control rack (600x650x1600H) ------------------------- 1ea
2. PLC Control
3. Manual/Auto mode selectable(향후 PC Control로의 호환성이 있어야 함)
4. Touch screen 사용
5. 실시간 Control monitoring
6. 각 Controller와 RS-232 interface 가능
7. 사용자의 오동작 시 장비를 보호 할 수 있도록 각각의 Inter Lock이 되어야 된다.

2-9 SYSTEM FRAME UNIT
1. System Frame -------------------------------------------------- 1ea
2. Laser Frame (700x2000x600) ---------------------------------- 1ea
3. Optical Table (1000x1200x650) ---------------------------------- 1ea
- Tap Hole 및 간격은 M6-25 기준
- Table 높낮이 조절가능 하게 ±15mm

3. 장비의 기술 검수
1. Main camber ultimate base pressure 3x10-7torr 이하 Pumping시작 40분 이내.
2. Chamber leak rate 2x10-9torr
3. Heater temperature uniformity ±2℃ : MAX 950℃ wafer 기준.
4. 모든 물품은 규격서에 명기되어 있는 Maker 및 Model을 사용해야 한다.
5. Ar, Gas Power등의 2차 Utility를 설치해야 하며 각 Utility의 동작 시 안전한
설비 운영을 위하여 완벽한 Safety Interlock를 갖추어야 한다.
6. 수입품은 요청이 있을 경우 수입 증빙자료를 제시해야 한다.

4. REMARK
1. Warranty : 검수 후 ------- 2년
2. Operating manual ------- 3부
3. 사용자 교육 ------- 3회